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淺析硅片拋光機(jī)的兩種拋光方式

發(fā)布日期: 2019-05-10  瀏覽人數(shù):

    硅片拋光機(jī)如何解決這個矛盾的最好的辦法就是把拋光分為兩個階段進(jìn)行。粗拋目的是去除磨光損傷層,這一階段應(yīng)具有最大的拋光速率,粗拋形成的表層損傷是次要的考慮,不過也應(yīng)當(dāng)盡可能;其次是精拋(或稱終拋),其目的是去除粗拋產(chǎn)生的表層損傷,使拋光損傷減到最小。
拋光機(jī)
 
    硅片拋光機(jī)不是碾除整體的糠層,是通過碾除細(xì)微的糠粉和粗糙表上面突起的淀粉細(xì)粒,拋光機(jī)拋光和碾白從工作方面比較存在著很大的差別,拋光機(jī)拋光壓力很低,拋光機(jī)拋光米粒的時候流體密度很小,拋光時米粒離開鐵輥的速度很快,而且拋光機(jī)單位產(chǎn)量拋光運(yùn)動面積很大。
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